引用本文:朱清华,伍乃骐,滕少华.多组合设备的调度控制研究综述[J].控制理论与应用,2010,27(10):1369~1375.[点击复制]
ZHU Qing-hua,WU Nai-qi,TENG Shao-hua.Survey of scheduling and control for multicluster tools[J].Control Theory and Technology,2010,27(10):1369~1375.[点击复制]
多组合设备的调度控制研究综述
Survey of scheduling and control for multicluster tools
摘要点击 1740  全文点击 1094  投稿时间：2010-01-24  修订日期：2010-06-22
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DOI编号  10.7641/j.issn.1000-8152.2010.10.CCTA100086
  2010,27(10):1369-1375
中文关键词  半导体制造  多组合设备  调度与控制  调度算法  建模
英文关键词  semiconductor manufacturing  multicluster tools  scheduling control  scheduling algorithms  modeling
基金项目  国家自然科学基金资助项目(60974098); 高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20094420110002); 广东省自然科学基金资助项目(9151009001000007).
作者单位E-mail
朱清华* 广东工业大学 机电工程学院
广东工业大学 计算机学院 		zhuqh@gdut.edu.cn 
伍乃骐 广东工业大学 机电工程学院  
滕少华 广东工业大学 计算机学院  
中文摘要
      在半导体芯片制造中越来越广泛使用多组合设备. 本文介绍了多组合设备的结构配置、生产运行过程、调度控制问题的一般特征条件、应该满足的约束及周期性调度策略; 分析了问题的复杂性因素. 从多组合设备的结构特征、运行过程特征两方面分类综述了调度问题的建模、分析方法、调度算法及存在的问题, 最后指出了未来的研究方向.
英文摘要
      Multicluster tools are increasingly adopted in semiconductor manufacturing. This survey introduces the configurations of multicluster tools, operation processes, constraints, and cyclic scheduling policy. The complexity of the multicluster tool scheduling is analyzed. Then, the state-of-the-art for modeling, analysis and algorithms are reviewed in terms of different configurations and fabrication processes; and the open problems are pointed out. Finally, future research directions are indicated.